某电子化学品企业生产半导体级高纯碳酸丙烯酯（PC），废水具有高盐（TDS>5%）、高COD（15000-18000mg/L）特性，且含氟化物（200-300mg/L），属于难降解废水。

废水成分及来源

主要污染源包括：1）分子筛脱水工序再生废水；2）产品过滤洗涤水；3）真空泵排水。除碳酸酯类有机物外，还含有NaCl、NaF等无机盐，以及微量环状碳酸酯副产物。

处理工艺流程

创新采用"膜分离+蒸发结晶+催化湿式氧化"工艺路线：

多效蒸发器

：三效逆流蒸发浓缩，回收85%水分，TDS浓缩至20%；

纳滤分盐

：NF膜截留二价盐，透过液NaCl纯度>98%；

催化湿式氧化（CWAO）

：反应温度240℃，压力6MPa，Cu-Al2O3催化剂，COD去除率92%；

生物活性炭滤池

：进一步降解残留有机物。

最终效果

出水COD<50mg/L，氟化物<8mg/L，结晶盐达到工业盐标准。系统实现90%水资源回用，危废减量70%，年运行费用节省约280万元。