西北某多晶硅切片厂因当地水资源紧缺，需实现90%废水回用。项目处理规模1200m³/d，重点解决切割液回收与水质稳定问题。

废水成分及来源

主要污染源为：

切割废液

：含聚乙二醇(PEG)、碳化硅微粉(粒径0.5-20μm)

清洗废水

：含硅粉、金属碎屑及分散剂

冷却排水

：含油类物质及热污染

处理工艺流程

创新采用"三级分离+膜集成"技术路线：

旋流分离

：去除80%以上碳化硅颗粒，回收切割砂浆

陶瓷膜超滤

：0.1μm孔径膜组件截留微细颗粒，通量维持60LMH

DTRO膜浓缩

：将PEG浓度从5%提纯至40%，回用于切割工序

反渗透脱盐

：产水电导率<50μS/cm，满足超纯水制备要求

最终效果

实现废水回用率92.3%，主要指标：

悬浮物≤1mg/L

油类≤0.5mg/L

COD≤10mg/L

年节约新水用量39万吨，切割液回收价值达260万元/年