某大型光伏制造企业位于华东地区，主要生产太阳能电池板。在生产过程中，硅片切割、清洗及刻蚀工序产生大量含氟废水，氟化物浓度高达200-300mg/L，pH值呈酸性，同时含有少量硅粉、有机溶剂等杂质。企业原有处理设施无法满足最新排放标准（氟化物≤10mg/L），急需升级改造。

废水成分及来源

切割废水

：来自硅片切割工序，含金刚线磨损产生的硅粉及切割液残留，氟化物主要来自切割液添加剂。

刻蚀废水

：氢氟酸刻蚀工艺产生，氟浓度高且含微量重金属。

清洗废水

：硅片冲洗水，氟化物浓度较低但水量大。

处理工艺流程

采用“混凝沉淀+两级化学沉淀+深度过滤”组合工艺：

预处理

：调节pH至中性，投加PAC（聚合氯化铝）去除悬浮硅粉。

一级化学沉淀

：投加石灰乳（Ca(OH)₂），生成氟化钙沉淀，氟化物降至30mg/L以下。

二级化学沉淀

：补充氯化钙（CaCl₂）并投加PAM（聚丙烯酰胺），进一步降低氟浓度至15mg/L。

深度处理

：通过活性氧化铝吸附柱，出水氟化物稳定在5mg/L以内。

最终效果

系统运行后，氟化物去除率＞98%，出水COD＜50mg/L，各项指标均达《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）一级标准。年减少氟化物排放约12吨，回收硅粉资源30吨。