电子元器件生产过程中产生的废气主要包含有机污染物(VOCs)、酸碱废气、颗粒物及重金属等,具有成分复杂、浓度波动大、排放量大等特点。这些废气若未经处理直接排放,会对环境和人体健康造成严重危害,例如VOCs可能引发光化学污染,酸雾腐蚀设备,重金属则具有生物累积毒性。
焊接/蚀刻工艺:使用焊锡、助焊剂等材料,产生含铅烟、松香酸酐及VOCs的废气。
清洗/喷涂工艺:使用异丙醇、丙酮等有机溶剂,挥发出苯类、酯类等VOCs。
电镀/表面处理:产生硫酸雾、氯化氢、氰化物等酸碱废气及重金属离子。
背景:企业因扩产导致焊接、清洗环节废气排放超标,主要含甲苯、二甲苯(浓度80-120 mg/m³)及铅烟。
处理工艺:
活性炭吸附:去除90%以上VOCs。
UV光解:分解剩余有机物为CO₂和H₂O。
催化燃烧:处理高浓度废气,效率达95%以上。
预处理:集气罩收集后通过旋流板塔去除大颗粒物。
核心净化:
效果:排放浓度降至≤20 mg/m³,符合《大气污染物综合排放标准》。
背景:光刻、蚀刻工艺产生高浓度异丙醇(IPA)和氟化氢废气,原有设备无法满足新国标。
处理工艺:
沸石转轮浓缩:将低浓度VOCs浓缩10-20倍。
RTO焚烧:在850℃高温下氧化分解有机物,热回收率>95%。
化学洗涤塔:用NaOH溶液中和酸性气体。
效果:VOCs去除率≥98%,氟化氢排放浓度<5 mg/m³,年节省燃料费约50万元。
电子厂废气治理需根据具体成分选择组合工艺,例如“吸附+焚烧”或“化学洗涤+生物滤床”。建议企业优先采用沸石转轮+RTO等资源化技术,兼顾处理效率与经济性。
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