某单晶硅生产企业采用钢丝切割工艺，每日产生含聚乙二醇（PEG）和碳化硅粉的高盐废水2000吨。废水中PEG浓度约15%，碳化硅微粉5%，NaCl3%-5%，具有高粘度、难沉降特性。

废水成分及来源

主要污染源为：1）切割液废水（PEG与硅粉混合物）；2）硅片清洗废水（含微量氢氟酸）；3）冷却塔排污水。特征指标：COD 80000-120000mg/L，SS 20000mg/L，电导率50-80mS/cm。

处理工艺流程

设计"微滤-树脂吸附-高压反渗透"资源化路线：

微滤系统

：陶瓷膜错流过滤（孔径0.1μm）去除99%碳化硅颗粒，滤渣经煅烧后回用。

树脂吸附

：大孔吸附树脂选择性截留PEG，脱附后PEG纯度恢复至90%以上。

盐分脱除

：SWRO海水淡化膜组脱盐，产水电导率<1000μS/cm回用于切割工序，浓盐水通过电解制备次氯酸钠消毒剂。

最终效果

PEG回收率85%，碳化硅粉回用率92%，水资源循环利用率达90%。系统每年节省新购PEG成本约1600万元，减少危废处置量3.2万吨/年。膜系统设计通量稳定在18LMH，清洗周期延长至120小时。

高盐废水处理技术关键要点

盐分耐受性

：生物法需控制盐度<3%（特殊菌种可达15%），物化法需考虑结垢风险。

分质处理原则

：优先分离有价值组分（如PEG、硅粉），再处理剩余污染物。

腐蚀防护

：316L不锈钢或FRP材质适用于氯离子<50000mg/L环境，更高浓度需采用钛材。

以上案例表明，高盐废水处理需根据行业特性选择组合工艺，通过资源回收可显著降低运行成本，符合绿色制造发展趋势。实际工程中建议先开展6个月中试验证工艺可行性。