某光伏企业主要生产太阳能电池板，生产过程中使用硅烷（SiH₄）作为镀膜原料，产生大量含硅烷的废水。废水中还含有氟化物、有机物及微量重金属，直接排放会对环境造成严重污染。企业需建设一套处理系统，使出水达到《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）一级标准。

废水成分及来源

废水主要来自硅烷气相沉积（CVD）设备的清洗废液和尾气吸收液，主要污染物包括：

硅烷水解产物

：SiO₂胶体、硅酸

氟化物

：HF、NaF等，浓度约200-500mg/L

有机物

：异丙醇、丙酮等溶剂残留

重金属

：微量铜、锌等

处理工艺流程

采用"化学沉淀+混凝气浮+生化处理"组合工艺：

调节池

：均衡水质水量，pH调节至8-9，促进硅酸沉淀。

化学沉淀

：投加Ca(OH)₂生成CaF₂去除氟化物，同时硅酸形成硅胶絮体。

混凝气浮

：加入PAC、PAM强化絮凝，气浮机去除悬浮物，SS去除率达95%。

A/O生化系统

：利用厌氧-好氧工艺降解有机物，COD从800mg/L降至50mg/L以下。

砂滤+活性炭吸附

：深度处理确保重金属达标。

最终效果

系统运行稳定后：

氟化物从450mg/L降至8mg/L（标准限值10mg/L）

COD从1200mg/L降至40mg/L

SS从300mg/L降至10mg/L

硅含量从200mg/L降至1mg/L以下